Mikroelektromechanikus eszköz és gyártási módja és műszaki megvalósítási elemei

Technikai megvalósítási elemek:

4. A fenti problémák fényében a jelen találmányt javasoltuk. A jelen találmány egy új mem-szerkezetet biztosít, amely elkerüli a konzolos gerendák használatát, nagyobb tartóssággal és egyszerűbb szerkezettel rendelkezik. A jelen találmány egy újszerű gyártási eljárást is biztosít a membrán eszközhöz, amely egyszerű eljárási lépésekkel rendelkezik, és javíthatja a gyártási hozamot.

5. Egy példakénti kiviteli alak szerint egy mikroelektromechanikus eszköz tartalmazhat: egy szigetelő szubsztrátumot; egy tartóoszlopot, amely a hordozón van elhelyezve, és a tartóoszlop egy próbatömeget támaszt meg; a szubsztrátum körülvétele a hordozón Egy vagy több pár elektródalemez a tömegtömbön elrendezve, mindegyik elektródalappár a tömegblokk ellentétes oldalain van elhelyezve; és egy szigetelő fedőlemez, amelyen az egy vagy több elektródalappárnak megfelelő elektródalappár vagy több elektródapár van elhelyezve, ha a fedőlemez lefedi az egy vagy több elektródalemezpárt, az egy vagy több pár elektródalemezt Az elektródák elektromosan érintkeznek az egy vagy több pár elektródalemezzel.

6. Egyes kiviteli alakoknál a tartóoszlop, a próbatömb és az egy vagy több elektródalemezpár vezetőből vagy félvezető anyagból van kialakítva, és a hordozóoszlophoz csatlakoztatott vezető vezetékek a hordozó egyik oldaláról vannak összekötve. Kivezetés, az egy vagy több elektródapárhoz csatlakoztatott vezető vezetékek a fedőlemez egyik oldaláról vannak kivezetve.

7. Egyes kiviteli alakoknál a fedőlemez egy nyílással van kialakítva az egy vagy több elektródapár között, hogy szabaddá tegye a tartóoszlopot és a próbatömeget.

8. Egyes kiviteli alakoknál a próbatömeg magassága alacsonyabb, mint az egy vagy több pár elektródalemez magassága.

9. Egyes kiviteli alakoknál a mikroelektromechanikai eszközt gyorsulásmérőként használják, és az egy vagy több elektródalemezpárt a próbatömeg helyzetében bekövetkezett változások miatti kapacitásváltozások mérésére használják.

10. Egyes kiviteli alakokban a mikroelektromechanikai eszközt giroszkópként használják, és az egy vagy több elektródalemez pár tartalmaz legalább egy első pár elektródalemezt és egy második pár elektródalemezt, az első pár elektródalemezt az A meghajtó számára. jelet alkalmaznak, hogy a próbatömeget az első pár elektródalemez között oszcillálja, a második pár elektródalemez pedig a próbatömeg helyzetében bekövetkezett változások miatti kapacitásváltozások mérésére szolgál.

Lépjen kapcsolatba velünk:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plusz 86-755-23699351

Mob: plusz 8618666663894