A MEMS eszköz gyártási módja

műszaki terület

1. A jelen leírás javított feszültségeloszlású mem-eszközre vonatkozik.

Háttértechnika:

2. Mint ismeretes, a mem ("mikroelektromechanikai rendszerek") elektronikus eszközök, például működtetők és/vagy érzékelők tipikusan egy üreget tartalmazó hordozón vannak kialakítva, és mozgatható szerkezeteket foglalnak magukban, amelyek az üreg felett vannak felfüggesztve, és a rugalmasság korlátozza. elemet a rögzített területre. A hordozó, a mozgatható szerkezet és az elasztikus elem lehet egybeépítve, és jellemzően félvezető anyagból, például szilíciumból készül.

3. Ezek az elektronikus eszközök a következőket is tartalmazzák: egy vagy több működtető és/vagy érzékelő szerkezet, amelyek a mozgatható szerkezethez vannak kapcsolva; és elektromos vezérlőáramkörök, amelyek ugyanabba a hordozóba vannak beépítve vagy különböző hordozókban vannak kialakítva, és a működtető- és/vagy érzékelőszerkezethez való csatolás elektromos meghajtójeleket biztosíthat a működtetőszerkezet számára, és/vagy elektromos érzékelőjeleket fogadhat az érzékelőszerkezettől.

4. Részletesen, a működtető szerkezet a mozgatható szerkezet elmozdulását, pl. elfordulását okozhatja, ha megfelelő elektromos meghajtó jellel vezérlik. Hasonlóképpen, az érzékelő szerkezet úgy van kialakítva, hogy megfelelő elektromos jeleket állítson elő, amelyek a mozgatható szerkezet működési körülményeitől, és például a mozgatható szerkezet forgási tartományától függenek.

5. Az elektromos vezérlőáramkör és a működtető és/vagy érzékelő szerkezet jellemzően elektromosan össze van kötve egymással vezető pályákkal, pl. vezető rétegek kötegéből.

6. A vezetősínek általában rögzített területeken, rugalmas elemeken, és néha részben mozgatható szerkezeteken is átnyúlnak.

7. Használat közben a mozgatható szerkezet elmozdulása a rugalmas elemek deformálódását, pl. csavarodását eredményezi, amelyek a mozgatható szerkezetet a rögzített területre korlátozzák.

Lépjen kapcsolatba velünk:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plusz 86-755-23699351

Mob: plusz 8618666663894