Módszer mikromechanikai alkatrész előállítására érzékelőeszközhöz vagy mikrofoneszközhöz

Technikai megvalósítási elemek:

3. A jelen találmány az 1. igénypont jellemzőivel rendelkező érzékelő- vagy mikrofoneszköz mikromechanikai alkatrészét, valamint az 5. igénypont jellemzőivel rendelkező érzékelőeszköz vagy mikrofoneszköz mikromechanikai alkatrészének előállítására szolgáló eljárást javasol.

4. A találmány előnyei

5. A találmány szerinti konstrukció a találmány által javasolt mikromechanikai alkatrész legalább egy elektromosan szigetelő áldozati réteg anyagának legalább egy feláldozórétegén és ugyanazon A találmány szerinti kialakításon alapul legalább egy szigetelő tartomány, amely a a szigetelő áldozati réteg anyagának legalább egy elektromos szigetelő anyaga, a mikromechanikai alkatrész üregének kialakítása érdekében a legalább egy feláldozóréteg részleges eltávolítására alkalmas eljárás végrehajtható anélkül, hogy aggódni kellene a sérülés vagy eltávolítás miatt legalább egy szigetelési területet. A találmány így egyszerűvé teszi a megfelelő, találmány szerinti mikromechanikai alkatrésznek legalább egy szigetelőrégióval való felszerelését, amely előnyösen alkalmas az elektróda szerkezetének a membrántól való elektromos szigetelésére, a membránanyagréteg és az elektródaanyag-réteg között. elektromosan szigeteljük és/vagy legalább egy feláldozó réteg legalább egy maradék régióját elválasztjuk az üregtől. A találmány így javítja a találmány szerinti mikromechanikai komponenst a technika állása szerintihez képest, és emellett hozzájárul a munkaerőköltségek, valamint a találmány szerinti mikromechanikai alkatrész előállításához a találmány szerinti mikromechanikai komponens gyártási költségeinek csökkentéséhez.

6. A legalább egy védőréteg legalább egy maradék tartományának elválasztására szolgáló legalább egy szigetelő tartomány különösen "maratás elleni védelemként" működhet a legalább egy maradék tartomány nem kívánt maratása ellen az üreg kialakítása során. Ezzel egyidejűleg legalább egy elektromosan szigetelő anyagból kialakított legalább egy szigetelő régiót érünk el a legalább egy maradék tartomány elválasztására.

Lépjen kapcsolatba velünk:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plusz 86-755-23699351

Mob: plusz 8618666663894